首先的偏移量差错:由于压力传感器在整个压力范围内笔直偏移保持恒定,因而变换器分散和激光调理批改的改变将发生偏移量差错。
其次是灵敏度差错:发生差错巨细与压力成正比。假如设备的灵敏度高于典型值,灵敏度差错将是压力的递增函数。假如灵敏度低于典型值,那么灵敏度差错将是压力的递减函数。该差错的发生原因在于分散过程的改变。
第三是线性差错:这是一个对压力传感器初始差错影响较小的因素,该差错的发生原因在于硅片的物理非线性,但关于带放大器的传感器,还应包括放大器的非线性。线性差错曲线可所以凹形曲线,也可所以凸形曲线称重传感器。
zui后是滞后差错:在大多数情形中,压力传感器的滞后差错完全可以忽略不计,因为硅片具有很高的机械刚度。一般只需在压力改变很大的情形中考虑滞后差错。
压力传感器的这个四个差错是无法避免的,咱们只能挑选高精度的生产设备,利用高新技术来下降这些差错,还可以在出厂的时候进行一定的差错校准,尽zui大的可能来下降差错以满足客户的需求。